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當前位置:首頁產品中心電鏡制樣設備MIPC1000等離子清洗儀MIPC1000多功能等離子清洗儀

多功能等離子清洗儀

產品簡介

等離子清洗儀是一種利用等離子體進行表面處理的精密設備。其核心原理是在真空或特定氣氛下,通過射頻電源激發氣體產生高能活性粒子,與材料表面的有機污染物發生物理轟擊和化學反應,將其分解為氣態產物并抽離,實現原子級別的“干式"清潔。該設備全程無需化學溶劑,處理過程綠色環保。

產品型號:MIPC1000
更新時間:2026-07-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:2085
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  MIPC1000多功能等離子清洗儀,專門針對SEM/TEM等各類表面/微觀分析設備開發,能夠有效去除樣品/樣品桿表面污染物,防止碳沉積帶來圖像分辨率降低及對樣品微區成分分析造成誤判,同時可改善樣品表面親水性。該系統配備7英寸超大清洗樣品桿,同時清洗多個樣品,利用快旋頭設計,可滿足SEM/FIB/EPMA/SIMS/XPS/TEM等各類真空腔體清洗,提升儀器分析準確性。
 
  MIPC1000多功能等離子清洗儀最多可配備四路氣體進氣系統,搭配高精度質量流量計(MFC),可實現任意比例氣體混合,從而實現不同工藝氣體清洗需求。通過配備的7英寸觸屏控制系統,能夠實現清洗配方的建立和存儲,可實現一鍵完成樣品清洗。 Downstream過濾電場能夠過濾傳統等離子體中離子/電子成分,僅利用低能自由基進行清洗,能夠去除濺射損傷、熱效應及刻蝕效應對樣品微觀結構和成分的破壞。滿足各類真空設備樣品/樣品艙清洗,同時可對電鏡光闌、各類真空部件進行清洗,滿足各種清洗需求。
 
  技術優勢
 
  ◆ 多功能:具備在線腔體清洗和獨立清洗功能;
 
  ◆ 高效性:ICP誘導激發,清洗范圍廣;
 
  ◆ 超高真空清洗:<5mTor ~ 2Tor ;
 
  ◆ 清洗功率范圍大:0-100W ;
 
  ◆ 清洗柔和:Downstream設計,無濺射效應,  無熱效應;
 
  ◆ 可同時清洗/存儲兩根透射電鏡樣品桿;
 
  ◆ 擴展性好:采用快旋頭,等離子發生器,可輕松對各類真空腔體進行清洗;
 
  ◆ 超大清洗樣品艙:直徑7英寸X7英寸高;
 
  ◆ 能夠碳膜清洗,增加增加碳膜親水性;
 
  ◆ 觸屏控制:7英寸觸屏,配方式操作。
 
  主要應用
 
  ◆ FIB/SEM/TEM/Nano Probe
 
  ◆ XPS/GC/SIMS
 
  ◆ Synchrotron Radiation
 
  ◆ 各類真空腔體清洗
 
  ◆ 各類分析設備樣品清洗
 
多功能等離子清洗儀
MCA實機圖
 
多功能等離子清洗儀
碳膜清洗夾具
 
 

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